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關于殘留氣體計量分析儀 (RGA)的介紹

2015-05-29

○ RGA是Residual Gas Analyzer的簡稱

○ 真空計的一種

○ 該儀器可以檢測在真空中存在的各類氣體的種類以及各類氣體的壓力(分壓)

○ 通過知曉剩余氣體的種類以及其比例了解真空的品質






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